1. стандартное алюминиевое основание
2. с приводом от линейного двигателя, двигатель и статор работают бесконтактно
3. позиционирование решетки/позиционирование магнитной решетки
4. высокая точность, высокое ускорение, высокая скорость перемещения
5. ошибка нулевого люфта
6. Точность повторяемости до ±2 мкм (в пределах любого хода 500 мм)
7. длинный ход, максимальный ход достигает более 4 м
8. позволяет использовать несколько независимых двигателей на одной оси
9. максимальная скорость движения более 5 м
10. быстрая сборка в кросс-позиции XY и портальные столики
1. основание выполнено из мрамора модульной конструкции, хорошая жесткость и хорошая устойчивость;
2. используют высококачественный линейный двигатель и энкодер;
3. используют систему обратной связи с инкрементальной оптической шкалой;
4. собрать в перекрестные ступени XY;
5. точность повторения до ±1 мкм (в пределах любого хода 500 мм);
1. имеет открытую конструкцию,, удобную для разборки и обслуживания;
2. встроенная система обратной связи с решеткой или магнитной решеткой, разрешение 0.1 мкм, 0.5 мкм, 1 мкм, 5 мкм по выбору;
3. используется плоский линейный двигатель с подвижным магнитом;
4. точность повторения до ±1 мкм;
5. небольшой размер и простая конструкция,, которая подходит для легких нагрузок и случаев высокой точности;
6. быстро собираются в крестовины XY;
1. хан's ступени сервомодуля имеют 100–750 Вт с ходом 100–2000 мм для опционального, подходит для оборудования автоматизации, полупроводникового оборудования, солнечного оборудования, промышленного оборудования FPD, и других различных сценариев применения.
2. удобный дизайн, разнообразная структура, и многоосное соединение модуль движения может эффективно сократить человеко-часы сборки машин.
3. точность повторения 20 мкм/м
4. Ступени серводвигателя с высоким крутящим моментом выбор, свяжитесь с нашим инженером по продажам.
