принять двумерный этап линейного двигателя на основе алюминиевой пластины, применяемый в производстве дисплеев и полупроводников;
особенности: простая конструкция, хорошая жесткость, верхняя и нижняя оси имеют малый ход, малый размер, высокоскоростное и высокоточное перемещение.
