1. основание выполнено из мрамора модульной конструкции, хорошая жесткость и хорошая устойчивость;
2. используют высококачественный линейный двигатель и энкодер;
3. используют систему обратной связи с инкрементальной оптической шкалой;
4. собрать в перекрестные ступени XY;
5. точность повторения до ±1 мкм (в пределах любого хода 500 мм);
В общей сложности 1 страницы