1. основание выполнено из мрамора модульной конструкции, хорошая жесткость и хорошая устойчивость;

2. используют высококачественный линейный двигатель и энкодер;

3. используют систему обратной связи с инкрементальной оптической шкалой;

4. собрать в перекрестные ступени XY;

5. точность повторения до ±1 мкм (в пределах любого хода 500 мм);