1. имеет открытую конструкцию,, удобную для разборки и обслуживания;
2. встроенная система обратной связи с решеткой или магнитной решеткой, разрешение 0.1 мкм, 0.5 мкм, 1 мкм, 5 мкм по выбору;
3. используется плоский линейный двигатель с подвижным магнитом;
4. точность повторения до ±1 мкм;
5. небольшой размер и простая конструкция,, которая подходит для легких нагрузок и случаев высокой точности;
6. быстро собираются в крестовины XY;
